評価事例３ 「環境負荷特性」
ご要望内容
上場企業様より、有機EL素子を作製し、その環境負荷特性などを測定してほしいとの依頼がありました。
当社の対応
いくつか打ち合わせを行った後に、当社から測定条件を提案し、お客様から了解をいただいたうえで測定を行いました。
評価項目
� 〜濃劼粒梓僂�よび発光表面観察
�◆ヾ超�加速試験評価
プロセス
洗浄プロセス
洗浄環境 ： クリーンルーム(クラス10,000)内のクリーンブース(クラス100)
溶剤 ： 有機溶媒(ＥＬ規格品)、有機アルカリ水溶液(ＥＬ規格品)、
超純水(18MΩ,TOC：〜10ppb)
機器 ： 超音波洗浄機(40kHz＆950kHz)、ＵＶオゾン洗浄機、真空デシケータ
（実施行程：絶縁膜付きＩＴＯ基板）
ウェット洗浄[超純水＋超音波] ⇒ 乾燥[真空] ⇒ ドライ洗浄[ＵＶオゾン]
（実施行程：封止用ガラスキャップ）
ウェット洗浄[超純水,有機アルカリ,有機溶剤＋超音波] ⇒
乾燥[真空] ⇒ ドライ洗浄[ＵＶオゾン]
蒸着プロセス ※各蒸着層共通
真空度 ： 1〜2×10-4Pa
蒸着速度 ： 有機系＆ＡＬ 1〜2Å/s ＬｉＦ 0.1Å/s
有機EL素子構造 単位:nm
ITO[50]+絶縁膜（� ↓◆↓�）/2-TNATA[30]/NPD[50]/Alq[50]/LiF[0.8]/Al[150]
ITO基板サイズ・厚み ： 29.8×29.8mm2、0.7mm厚
封止用ガラスキャップのサイズ・厚み ： 21×28mm2、1.1mm厚
発光部サイズ ： 2.0×2.2mm2
ゲッター（除湿除酸素剤）サイズ ： 10×10mm2
納品
以下の結果をお客様に納品いたしました。
（発光表面の経時変化）
