評価事例２ 「電子輸送材料の膜厚を変化させた物性評価」
ご要望内容
上場企業様より、電子輸送材料の膜厚の異なる有機ＥＬ素子を作製し、電気光学特性の比較を行ってほしいとの依頼がありました。
当社の対応
お客様から、どの程度の膜厚で変化させた方がよいか要望をお伺いしました。
お客様は具体的な数値までは、お持ちでありませんでしたが、ある程度結果がわかれる３種類の膜厚(薄い･普通･厚い)で実験してほしいとの要望をいただきました。
当社で具体的膜厚を提案し、お客様に了承をいただいたのち実験を行いました。
評価項目
� 〕�機EL素子の発光表面観察
�◆‥杜�・電圧・輝度（IVL）特性評価ならびに輝度半減寿命評価
プロセス
ITO基板の洗浄プロセス
洗浄環境 ： クリーンルーム(クラス10,000)内のクリーンブース(クラス100)
溶剤 ： 有機溶媒(ＥＬ規格品)、有機アルカリ水溶液(ＥＬ規格品)、
超純水(18MΩ,TOC：〜10ppb)
機器 ： 超音波洗浄機(40kHz＆950kHz)、ＵＶオゾン洗浄機
蒸着プロセス ※各蒸着層共通
真空度 ： 1〜2×10-4Pa
蒸着速度 ： 有機＆ＡＬ 1〜2Å/s ＬｉＦ 〜0.1Å/s
有機EL素子構造 単位:nm
Glass/ITO[150]/HIL /HTL /（赤）Irpiq3 or（緑）Irppy3@Host
/ETL [20〜80] /LiF /Al[50]
発光部面積 ： 10×10m��
封止
封止環境 ： グローブボックス内(H2O＆O2 10ppm未満)
ＵＶ硬化 ： アルミ製封止缶張り合わせ後、グローボックス外に取り出して実施。
アフターキュア ： 80℃、3時間
ゲッター及びシール剤 ： ダイニック製10mm角、スリーボンド製ＵＶ硬化型エポキシ
納品
以下の結果をお客様に納品いたしました。
