評価事例3 「環境負荷特性」

 

ご要望内容

 

 上場企業様より、有機EL素子を作製し、その環境負荷特性などを測定してほしいとの依頼がありました。

 

当社の対応

 

 いくつか打ち合わせを行った後に、当社から測定条件を提案し、お客様から了解をいただいたうえで測定を行いました。

 

評価項目

 

 〜濃劼粒梓僂よび発光表面観察

◆ヾ超加速試験評価

 

プロセス

 

洗浄プロセス

 

       洗浄環境 : クリーンルーム(クラス10,000)内のクリーンブース(クラス100)
       溶剤 : 有機溶媒(EL規格品)、有機アルカリ水溶液(EL規格品)、
                    超純水(18MΩ,TOC:〜10ppb)
       機器 : 超音波洗浄機(40kHz&950kHz)、UVオゾン洗浄機、真空デシケータ
        (実施行程:絶縁膜付きITO基板)
               ウェット洗浄[超純水+超音波] ⇒ 乾燥[真空] ⇒ ドライ洗浄[UVオゾン]
        (実施行程:封止用ガラスキャップ)
               ウェット洗浄[超純水,有機アルカリ,有機溶剤+超音波] ⇒
                                                           乾燥[真空] ⇒ ドライ洗浄[UVオゾン]

 

蒸着プロセス ※各蒸着層共通

 

       真空度 : 1〜2×10-4Pa
       蒸着速度 : 有機系&AL 1〜2Å/s    LiF 0.1Å/s

 

有機EL素子構造 単位:nm

 

       ITO[50]+絶縁膜( ↓◆↓)/2-TNATA[30]/NPD[50]/Alq[50]/LiF[0.8]/Al[150]
       ITO基板サイズ・厚み : 29.8×29.8mm2、0.7mm厚
       封止用ガラスキャップのサイズ・厚み : 21×28mm2、1.1mm厚
       発光部サイズ : 2.0×2.2mm2
       ゲッター(除湿除酸素剤)サイズ : 10×10mm2

 

納品

 

 以下の結果をお客様に納品いたしました。

 

(発光表面の経時変化)

評価事例_環境負荷特性_Q-Lights