評価事例2 「電子輸送材料の膜厚を変化させた物性評価」

 

ご要望内容

 

 上場企業様より、電子輸送材料の膜厚の異なる有機EL素子を作製し、電気光学特性の比較を行ってほしいとの依頼がありました。

 

当社の対応

 

 お客様から、どの程度の膜厚で変化させた方がよいか要望をお伺いしました。
 お客様は具体的な数値までは、お持ちでありませんでしたが、ある程度結果がわかれる3種類の膜厚(薄い・普通・厚い)で実験してほしいとの要望をいただきました。
 当社で具体的膜厚を提案し、お客様に了承をいただいたのち実験を行いました。

 

評価項目

 

 〕機EL素子の発光表面観察

◆‥杜・電圧・輝度(IVL)特性評価ならびに輝度半減寿命評価

 

プロセス

 

ITO基板の洗浄プロセス

       

    洗浄環境 : クリーンルーム(クラス10,000)内のクリーンブース(クラス100)
       溶剤 : 有機溶媒(EL規格品)、有機アルカリ水溶液(EL規格品)、
                    超純水(18MΩ,TOC:〜10ppb)
       機器 : 超音波洗浄機(40kHz&950kHz)、UVオゾン洗浄機

 

蒸着プロセス ※各蒸着層共通

 

       真空度 : 1〜2×10-4Pa
       蒸着速度 : 有機&AL 1〜2Å/s    LiF 〜0.1Å/s

 

有機EL素子構造 単位:nm

       

    Glass/ITO[150]/HIL /HTL /(赤)Irpiq3 or(緑)Irppy3@Host
                                                        /ETL [20〜80] /LiF /Al[50]
       発光部面積 : 10×10m

 

封止

 

       封止環境 : グローブボックス内(H2O&O2 10ppm未満)
       UV硬化 : アルミ製封止缶張り合わせ後、グローボックス外に取り出して実施。
       アフターキュア : 80℃、3時間
       ゲッター及びシール剤 : ダイニック製10mm角、スリーボンド製UV硬化型エポキシ

 

納品

 

 以下の結果をお客様に納品いたしました。

 

評価事例_電子輸送材料の膜厚を変化させた物性評価_Q-Lights

評価事例_電子輸送材料の膜厚を変化させた物性評価